@Air Compressor
2025-04-18
일반 반도체 가스 공급 압력 누출 점 및 기름 함량은 얼마입니까?
반 도 체 제조 에서 가스 공급 의 품질 은 공정 안정 성과 좋은 품질 에 직접 적으로 영향을 미 칩니다 .다음은 주요 매 개 변 수 및 제어 기준 에 대한 자세한 분석 입니다 .
1. 압 력 이슬 점 기준
반 도 체 공 장은 압 축 공 기의 압 력 이슬 점에 대한 엄격 한 요구 사항 이 있으며 일반적으로 제어 됩니다 .– 40 ° C ~ – 70 ° C(일 부 고급 프로세 스 요구 사항)– 80 ° C ~ – 110 ° C）。이 기준 은 다음과 같은 이유로 일반적인 산업 시 나 리오 보다 훨씬 높 습니다 .
- 응 축 수 오염 을 방지 하다: 저 온 이슬 점은 압 축 공기 중 수 증 기가 파이 프 또는 장비 에서 응 축 되는 것을 방지 하여 리 소 그래 피 기계 , 에 칭 기계 및 기타 정 밀 장비 에 부 식을 방지 합니다 .
- 공정 안정 성 요구 사항: 반 도 체 공 정은 온 도 및 습 도에 매우 민감 하며 , 예를 들어 레 지 스트 코 팅 링크 는 공기 습 도 ≤ 30 % R H 를 요구 하며 , 너무 높은 이슬 점은 레 지 스트 흡 습 팽 창 을 초래 하여 패턴 정확 도에 영향을 미칠 수 있습니다 .
탐 지 및 변환：
- 압 력 영향: 가스 이슬 점은 압 력에 따라 변화 하므로 공식 으로 실제 값을 변환 해야합니다 .예를 들어 , 샘플 링 압 력 0. 1 M Pa 에서 측정 된 이슬 점은 – 70 ° C 이며 , 실제 사용 압 력이 0. 8 M Pa 인 경우 실제 이슬 점은 – 55 ° C 로 상승 할 수 있습니다 .
- 기 기 선택용 량 적 점 측정 기 (예 : S HA W 유형), 유 량 범위 5 – 10 L / min , 정 밀 도를 보장 하기 위해 정기적으로 교 정이 필요합니다 .
2. 기름 함 유 량 표준
반 도 체 공 장은 압 축 공 기의 오 일 함 량 에 대한 요구 사항 이 매우 높 으며 일반적으로총 오 일 함 량 ≤ 0. 01 mg / m 3(ISO 85 73 – 1 클래 스 1), 일부 공정 에는 요구 사항 이 있습니다 .0 급 오 일 없는 압 축 공기(무 유 분 근 접).그 이유는 다음과 같습니다 .
- 제품 오염 위험: 오 일 분 분은 웨 이 퍼 표 면에 퇴 적 되어 포 토 레 지 스트 가 떨어 지 거나 오염 이 도 핑 되어 칩 수 율 에 심각한 영향을 미칠 수 있습니다 .
- 장비 유지 보수 비용: 오 일 증 기는 진 공 펌 프 , 이 온 주 입 기 및 기타 장 비를 오염 시켜 유지 보수 빈 도 와 가 동 중지 시간을 증가 시킵니다 .
탐 지 및 제어：
- 온라인 모니터링: 고 정 밀 오 일 검 출 기 (예 : O IL CH EC K 500) 를 사용하여 표준 초 과 오 일 함 량을 실시간 으로 경고 합니다 .
- 3 급 정 화：
- 1 차 필 터 링사이 클 론 분리 기는 큰 입 자 오 일 방 울 을 제거 합니다 (효 율 > 98 %).
- 2 단계 응 축：冷冻干燥机冷却至-40℃，冷凝油蒸气（效率>90%）。
- 3 단계 흡 착: 활성 탄 소 필 터는 잔 류 오 일 분 자를 흡 착 합니다 (수 출 오 일 함 량 < 0. 00 3 mg / m 3).
실제 사례 와 업 계의 차이 점
| 공 예 단계 | 압 력 적 점 요구 사항 | 기름 함 량 요구 사항 | 전형 적인 문제 |
|---|---|---|---|
| 리 소 그래 피 실 | ≤ – 70 ° C | ≤ 0. 00 1 mg / m 3 | 습 도가 너무 높 으면 레 지 스트 가 변형 됩니다 . |
| 에 칭 공정 | ≤ – 60 ° C | ≤ 0. 01 mg / m 3 | 오 일 분 으로 마 스크 판 을 오염 시켜 에 칭 정 밀 도를 저 하 한다 . |
| 이 온 이 식 | ≤ – 50 ° C | ≤ 0. 01 mg / m 3 | 오 일 증 기가 이 온 빔 산 란 을 유발 하여 도 핑 균 일 성에 영향을 미 칩니다 . |
| 패키 지 테스트 | ≤ 40 ° C | ≤ 0. 1 mg / m 3 | 응 축 물은 핀 의 산 화를 유발 합니다 . |
업 계 비교：
- 로 직 칩：对露点和含油量要求最高（露点≤-80℃，含油量≤0.001mg/m³）。
- 메모리 칩 .：要求略低于逻辑芯片（露点≤-70℃，含油量≤0.01mg/m³）。
- 전 력 반 도 체：因工艺成熟度较高，部分工厂放宽至露点≤-50℃，含油量≤0.1mg/m³。
비용 제어 및 최적 화
- 설 비 투자：三级净化系统初期投资约300-500万元（按1万㎡厂房计算），年运维成本约50-80万元。
- 에너지 절약 조치：
- 주 파 수 인 버 터 공기 압 축 기를 사용하면 에너지 소비 가 15 % – 20 % 감소 합니다 .
- 폐 열 회 수 장 비를 사용하여 압 축 열 을 공 장의 난 방 에 사용합니다 .
- 최적 화 모니터링：
- IoT 센 서를 배 포 하여 이슬 점 및 오 일 함 량의 실시간 원 격 모니터링 을 가능하게 합니다 .
- AI 알고리즘 을 사용하여 장비 고 장을 예측 하여 계획 되지 않은 가 동 중지 시간을 줄 일 수 있습니다 .
결론반 도 체 공 장은 공정 노 드 (예 : 28 nm , 14 nm , 7 nm) 에 따라 적절한 공기 공급 표준 을 선택 하고 정기 적 인 감사 (분 기 별 권장) 및 예비 장비 (예 : 백 업 건 조 기) 를 통해 공기 품질 의 안정 성을 보장 해야합니다 .