반도체 제조 공정에서 질소 가스를 사용하여 웨이퍼를 분사하는 것은 주로 웨이퍼 표면을 청소하고 수분, 불순물 및 가능한 오염 물질을 제거하면서 웨이퍼의 산화를 방지하기 위해 사용됩니다.
일반적으로 웨이퍼 표면의 청결성을 보장하고 산화를 방지하기 위해 99. 5 % 이상의 질소 농도를 사용하는 것이 좋습니다.고순도 질소는 공기 중 산소와 수분을 효과적으로 제거하여 웨이퍼의 오염이나 산화를 피할 수 있습니다.
물론, 특정 질소 농도 요구 사항은 공정에 따라 다를 수 있으며, 실제 응용에서는 특정 공정 요구 사항 및 장비 사양에 따라 적절한 질소 농도를 결정해야합니다.
공기 압축기 냉간 건조기의 작동 압력은 공기 압축기 배기 압력 및 가스 장비 수요 압력에 따라 종합적으로 결정되어야하며 건조 효율과 장비 수명을 균형 잡을 수있는 합리적인 선택이 필요합니다.다음은 주요 매개 변수 및 선택 권장 사항입니다 : 1, 표준 작동 압력 범위 일반 냉각…
공기 압 축 기의 배 기 압 력은 전 력 소비 와 비 선 형 적으로 긍정적 인 상관 관계를 가지고 있으며 명 판 매 개 변 수 , 실시간 측정 또는 특정 전 력 방법을 통해 정확하게 계산 해야합니다 .주 파 수 변환 조절 , 폐 열 회 수 및 정기 적 인 유지 보수 와 결합 하여 에너지 소비 를 15 % ~ 40 % 줄 일 수 있습니다 .분 기 별 에너지 효율 감사를 실시 하여 시스템 과 일치 하는 압 력 설 정을 최적 화하는 것이 좋습니다 .
웨 이 퍼 제조 는 압 축 공 기의 품질 요구 사항 이 매우 엄격 하며 , 일반 압 축 공 기의 불 순 물은 웨 이 퍼 폐기 물 또는 장비 고 장을 직접 일으킬 수 있습니다 .오 일 리스 공기 압 축 기 , 다 단 계 여 과 시스템 및 엄격 한 이슬 점 제 어를 통해 압 축 공 기는 반 도 체 공정 요구 사항을 충족 시키기 위해 클래 스 1 표준 (ISO 85 73 – 1) 을 충족 합니다 .
공기 압 축 기 (단 축 적으로 공기 압 축 기) 는 기계 에너지를 가스 압 력 에너지 로 변환 하는 장비 이며 산업 분야의 핵심 동 력 원 중 하나입니다 .다음은 기능 , 원칙 , 응용 시 나 리오 및 기술 동 향 의 네 가지 측면에서 포 괄 적 인 분석 입니다 : 1.
공기 압축기는 윤활 모드에 따라 오일 공기 압축기 및 오일 없는 공기 압축기의 두 가지 범주로 나눌 수 있으며, 주요 차이점은 작동 원리, 압축 공기 품질, 응용 시나리오 및 유지 보수 요구 사항에 반영됩니다.