웨이퍼는 압축 공기에 닿을 수 있습니까?

웨이퍼는 제조 과정에서일반 압축 공기에 직접 접촉하는 것을 피하십시오.엄격하게 처리 된 깨끗한 압축 공기를 사용해야합니다.다음은 구체적인 이유 및 규격 설명입니다 :

1) 왜 일반 압축 공기를 접촉 할 수 없습니까?

1. 오염 위험：

• 기름분 오염일반 압축 공기는 소량의 오일을 포함 할 수 있으며, 소량조차도 웨이퍼 표면에 부착되어 레지스트 부착 및 회로 패턴 정확도에 영향을 미칠 수 있습니다.
• 수분이 응축되다.: 건조되지 않은 압축 공기는 저온 파이프에서 물로 응축되어 웨이퍼가 습하거나 장비가 부식됩니다.
• 입자 스크래치먼지, 금속 조각 및 기타 고체 입자는 웨이퍼 표면을 긁어 돌이킬 수없는 결함을 일으킬 수 있습니다.

2. 프로세스 영향：

• 리소그래피 정밀도가 떨어지다: 불순물은 포토리소그래피 마스크를 오염 물질로 오염시킬 수 있으며 칩 패턴 복사 편차를 일으킬 수 있습니다.
• 에칭 균일성이 악화됨: 불순한 가스는 에칭 화학 반응 조건을 변경하여 라인 가장자리 제어에 영향을 미칩니다.
• 도핑 농도 파동: 불순물은 도핑 공정을 방해하여 트랜지스터 성능이 일관되지 않습니다.

3. 장비 손상：

• 정밀 부품 부식부식성 가스가 함유된 압축 공기는 장비의 노화를 가속화합니다.
• 파이프가 막히다미립자 물질은 가스 노즐 또는 진공 펌프를 막아 다운타임 위험을 증가시킬 수 있습니다.

2) 청정 압축 공기 사용 규범

1. 품질 등급 요구사항：

• 기름이 없는기름 잔 류 량 ≤ 0. 01 mg / m 3 (일 부 공정 요구 사항 ≤ 0. 1 p pm)
• 건 조 성：压力露点≤-40℃（部分工艺需≤-70℃）。
• 입 자 필 터 링: ≥ 0. 01 μ m 입 자 여 과 효율 ≥ 99. 99 5%
• 압 력 안정 성변 동 범위 는 ± 0. 01 M Pa 이 내 로 제어 됩니다 .

2. 공기 공급 시스템 설계：

• 별 도의 공기 공 급 실압 축 공기 발생 장 치는 클 린 룸 과 독립 적이 어야 하며 열 방사 선 및 진 동 영향을 피 해야합니다 .
• 다 단 계 필 터 링: 순 차 적으로 오 일 물 분리 기 , 활성 탄 소 흡 착 기 및 초 정 밀 필 터를 배치 합니다 .
• 파이 프 재 질: 31 6 L 스테 인 레스 스 틸 또는 내 벽 전기 연 마 파이 프를 사용하여 미 립 자 물질 의 탈 락 을 줄 일 수 있습니다 .

3. 장면 제한 작업：

• 직접 접촉 금지 .웨 이 퍼 : 전송 , 청소 및 기타 단계에서 압 축 공 기는 장비 드라이브 (실 린 더 와 같은) 에 만 사용 되며 웨 이 퍼 와 직접 접촉 하지 않습니다 .
• 전 압 보호외부 공 기가 침 투 하는 것을 방지 하기 위해 깨끗한 실 내 에서 양 압 을 유지 하십시오 .

대체 방 안 과 비 상 조치

1. 질 소 대체 .: 웨 이 퍼 전송 과 같은 중요한 공정 단계 에 고 순 도 질 소를 사용하면 비용이 높 지만 안전 성이 향상 됩니다 .
2. 불 소 유 시험 법: 고 압 테스트 에서 , 압 축 공기 절 연 을 대체 하기 위해 불 소 오 일 침 수를 채택 하고 , 테스트 후 불 소 오 일은 쉽게 휘 발 하지 않고 잔 류 합니다 .
3. 정 전 기 방 호: 압 축 공 기를 사용하여 장 비를 청소 해야 하는 경우 , 이 온 화 장치를 통해 정 전 기를 제거 해야합니다 .

결론웨 이 퍼 제조 는 압 축 공 기에 대한 품질 요구 사항 이 매우 엄격 하며 , 일반 압 축 공 기의 불 순 물은 웨 이 퍼 폐기 물 또는 장비 고 장을 직접 일으킬 수 있습니다 .오 일 리스 공기 압 축 기 , 다 단 계 여 과 시스템 및 엄격 한 이슬 점 제 어를 통해 압 축 공 기는 반 도 체 공정 요구 사항을 충족 시키기 위해 클래 스 1 표준 (ISO 85 73 – 1) 을 충족 합니다 .