반도체용 압축공기의 기름 함량 기준

정 밀 제조 의 벤 치 마크 로서 반 도 체 제조 는 압 축 공 기에 대한 생산 환경 의 청 결 요구 사항 이 극 대 화 됩니다 .산업 표준 , 공정 적응 성 및 품질 관리 시스템의 세 가지 차 원에서 , 다음 은 압 축 공기 오 일 함 량 제어 요구 사항을 체계 적으로 설명 합니다 .

반 도 체 산업 의 오 일 함 량 제어 표준

1. 국제 공통 규 범
   • 반 도 체 제조 에 사용되는 압 축 공 기는 ISO 85 73 – 1 ” 압 축 공기 품질 등 급 ” 1 급 표준 , 즉 오 일 함 량 < 0. 01 mg / m 3 을 충족 해야합니다 .실제 생산 에서 , 헤 드 기업의 내부 통제 표준 은 더 엄격 하고 , 일반적으로 오 일 함 량 ≤ 0. 00 3 mg / m 3 을 요구 하며 , 일부 주요 공정 (포 토 리 소 그래 피 , 박 막 증 착 과 같은) 은 < 0. 00 1 mg / m 3 을 요구 합니다 .
2. 공정 단계 의 차별 화 요구 사항
   

   공 예 단계	기름 함 량 제어 기준 (mg / m 3)	핵심 제어 요소
   웨 이 퍼 청소	≤ 0. 00 1	기름 오염으로 인한 표면 결함 방지
   레지스트 코팅	≤ 0. 001	리소그래피 그래픽 왜곡을 방지하기 위해 오일
   플라즈마 에칭	≤ 0. 003	기름 오염 오염 방지 반응 챔버
   박막 퇴적	≤ 0. 005	기름이 막층의 접착력에 영향을 미치지 않도록
   패키 지 테스트	≤ 0. 01	오 일 오염 으로 인한 핀 접촉 불 량 방지

2, 기름 함 량 제어 기술 경 로

1. 원 천 정 화 방 안
   • 오 일 없는 공기 압 축 기: 물 윤 활 또는 완전히 오 일 없는 디자 인을 채택 하여 원 천 에서 윤 활 유 오염 을 방지 합니다 .
   • 다 단 계 필 터 링 시스템: 전 필 터 (정 밀 도 1 μ m), 정 밀 필 터 (정 밀 도 0. 01 μ m), 활성 탄 필 터 (유 증 기 흡 착) 를 구성 하여 그 라 데 이션 정 화를 달성 합니다 .
2. 프로세 스 모니터링 시스템
   • 온라인 모니터링 장치: 레이 저 산 란 방법을 사용하여 오 일 함 량을 실시간 으로 감지 하고 공장 M ES 시스템에 데이터 액세 스를 제공합니다 .
   • 수 동 샘플 링 검 출: 매 월 가스 크 로 마 토 그래 피 분석 을 수행 하여 총 탄 화 수 소 함 량 (TH C) 및 특정 오 일 성 분을 검 출 합니다 .
3. 엔 드 프로세 스 기술
   • 촉 매 산 화 장치압 축 공 기의 오 일 증 기는 촉 매 의 작용 으로 CO 2 와 H 2 O 로 분 해 됩니다 .
   • 막 분리 기술: 고 분 자 막 의 선택 적 침 투 를 사용하여 오 일 농 도를 더욱 줄 일 수 있습니다 .

3. 품질 관리 의 핵심 노 드

1. 시스템 설계 사 양
   • 런 재료: 31 6 L 스테 인 레스 스 틸 파이 프 , 내부 벽 전기 연 마 처리 (Ra ≤ 0. 4 μ m) 를 사용하여 기름 오염 부 착 을 줄 입니다 .
   • 루 트 배치: 고 리 모양 의 파이 프 네트워크 디자 인을 채택 하여 사 각 을 피 하고 자동 배 수 밸 브 를 구성 하여 응 축 물이 축 적 되는 것을 방지 합니다 .
2. 운영 및 유지 관리 기준
   • 필 터 교체 주기정 밀 필 터는 2000 시간 마다 교체 되며 활성 탄 소 필 터는 4000 시간 마다 교체 됩니다 .
   • 누 출 탐 지: 매 월 파이 프 라인 압 력 유지 테스트 를 수행 하고 헬 륨 질 량 분석 누 출 검 출 기를 사용하여 미 세 누 출 지 점을 위치 시킵니다 .
   • 비상 대비 방안: 예비 여과 시스템을 구성하고 주 시스템 유지 보수 시 바이패스 공기 공급으로 전환합니다.
3. 인원 자격요건
   • 운영자는 압축 공기 시스템 전문 교육을 통해 오일 제어 요점 및 비상 처리 프로세스를 파악해야합니다.
   • 석유 오염 사건에 대한 신속한 대응 능력을 향상시키기 위해 정기적으로 시뮬레이션 연습을 수행합니다.

4. 산업 발전 추세

1. 지능형 관리 및 통제
   • 사물 인터넷 기술을 통합하여 필터 셀 수명 예측, 에너지 효율 분석, 비정상 조기 경보 등의 기능을 구현합니다.
   • 디지털 쌍둥이 기술을 사용하여 압축 공기 시스템의 가상 모델을 구축하고 작동 매개 변수를 최적화합니다.
2. 저탄소화 업그레이드
   • 오 일 없는 공기 압 축 기를 홍 보 하여 윤 활 유 소비 및 폐 유 처리 비용을 줄 입니다 .
   • 폐 열 회 수 기술을 사용하여 압 축 열 을 공정 예 열 에 사용 함으로써 시스템의 에너지 효율 이 30 % 이상 향상 됩니다 .
3. 모듈 식 설계
   • 여 과 , 건 조 및 검 출 기능을 통합 하여 현 장 건설 주 기를 단 축 하는 사전 제조 정 화 유 닛 을 개발 합니다 .
   • 플 러 그 앤 플레이 인터페 이 스를 통해 시스템 확장 유 연 성을 향상 시킵니다 .

압 축 공 기의 오 일 함 량 에 대한 반 도 체 제조 의 제 어는 나 노 크 기의 시 대로 진 입 했습니다 (1 ng / m 3 = 0. 00 1 mg / m 3).기업은 설계 , 모델 선택 , 운영 및 유지 보수 에서 모니터링 에 이르 기까지 전체 수 명 주 기 관리 시스템을 구축 하여 압 축 공 기의 품질 이 첨 단 공정 요구 사항을 충족 하도록 기술 혁신 과 정 교 한 관 리를 통해 해야합니다 .반 년에 한 번 씩 시스템 감사를 실시 하고 공정 업 그레이 드와 결합 하여 제어 기준 을 동 적으로 조정 하여 청 정 생산 기반 을 지속적으로 공 고 히 할 것을 권장 합니다 .